在气相中As-F键的氟化砷键长为170.6 pm， 目前已制得含有AsF4−阴离子的氟化砷盐， 三氟化砷能与SbF5形成离子型的氟化砷加合物[AsF2+][SbF6−]。F-As-F键的氟化砷键角为96.2°。其中含有AsF4−和AsF3分子，氟化砷 制备和性质 三氟化砷可由氟化氢与三氧化二砷反应制得： 6HF + As2O3 → 2AsF3 + 3H2O 它在气相中具有三角锥形的氟化砷空间构型，易与水发生反应。氟化砷这是氟化砷一种无色液体， 参考资料 卤化砷 三价砷化合物 氟化物 氟化剂氟化砷钾盐KAs2F7可由KF和AsF3反应制得，氟化砷化学式为AsF3。氟化砷 三氟化砷用作将非金属氯化物转化为氟化物的氟化砷氟化剂，不过反应活性比SbF3要低一些。氟化砷而固态也存在这种结构。氟化砷

三氟化砷是氟化砷一种砷和氟形成的无机化合物，因为有证据能显示出AsF3分子和阴离子的相互作用。例如CsAsF4。